南京盛鑫半导体材料有限公司拟投资29764万元建设外延材料扩产项目，利用现有厂区，购置外延炉、汞探针CV测试仪等设备123台，新增4条外延材料生产线，项目完成后，形成新增年产外延材料480万片的能力。

按照国家环境保护法律规定，委托南京源恒环境研究所有限公司对本项目进行环境影响评价，现将项目环境影响评价情况进行公告，公告如下：

一、建设项目情况简述

项目名称：外延材料扩产项目；

项目性质：扩建；

建设地址：南京市江宁经济技术开发区苏源大道68号；

行业类别：[C3985]电子专用材料制造；

投资总额：项目总投资29764万元。

二、建设项目对环境可能造成的影响及采取的减缓措施

1、废气

硅外延生长产生的酸性废气均由外延炉单独配置的二级水喷淋塔收处理通过25m排气筒（FQ-163~FQ-283）排入大气环境，即外延工序共计121个酸雾排口。

电阻率检测清洗、碱清洁碱性废气收集后依托现有2套酸洗措施处理达标后通过现有2根25m排气筒（FQ-130 、FQ-155）排入大气环境。

表面晶格缺陷检测过程中废气以及气柜会酸性废气收集后依托现有二级碱喷淋后通过25m排气筒（FQ-131）排入大气环境。

清洗间清洗、外延炉石英件清洗废气以及气柜酸性废气收集后依托现有二级碱喷淋后通过25m排气筒（FQ-132）排入大气环境。

洁净间产品及设备擦拭有机废气收集后依托现有二级活性炭装置处理后通过25m排气筒（FQ-133）排入大气环境。

污水处理站恶臭气体收集后经现有碱喷淋+除湿塔+二级活性炭吸附处理后通过现有15米排气筒（FQ-142）排放。

本项目无组织废气主要为FAB-1车间、污水站未捕集的氟化物、氮氧化物、非甲烷总烃、氨气、氯化氢、硫化氢等，经预测可满足厂界达标排放。

2、废水

本项目废水主要为生活污水、清洗废水、废气洗涤废水、冷却塔废水，清洗废水、废气洗涤废水、冷却塔废水经收集后，送至厂区污水站处理后与经过化粪池处理的生活污水接管至江宁开发区南区污水处理厂处理，尾水排入云台山河。

3、噪声

本项目外延炉、清洗机、甩干机、风机等噪声设备，经过隔声、基础减振、距离衰减等措施后可以做到达标排放。

4、固废

本项目危险废物包括废酸、废化剂桶、污泥（待鉴别）、废活性炭、废矿物油等。危险废物均委托有资质单位处理。

5、风险

项目生产过程存在一定环境风险，经采取风险防范措施和应急预案后，环境风险是可以接受的。

三、环境影响报告表提出的环境影响评价结论的要点

本项目建设于南京市江宁经济技术开发区，生产规模为建设新增4条外延材料生产线，项目完成后，形成新增年产外延材料480万片的能力。本报告经分析论证和预测评价后认为：

本项目符合国家产业政策的要求，与区域规划相容、选址合理，污染防治措施技术可行，满足总量控制的要求。在落实本报告表提出的风险防范措施、环境污染治理和环境管理措施的情况下，污染物均能实现达标排放且对环境影响可接受。从环保角度来讲，建设项目在拟建地建设是可行的。

四、建设单位名称及联系方式

建设单位名称：南京盛鑫半导体材料有限公司

联系人：胡经理

联系电话：18010793895

邮箱：hujianpeng@gs-epi.com

五、评价单位名称及联系方式

环评单位：南京源恒环境研究所有限公司

联系人：徐工

联系电话：025-87783362

邮箱：620741753@qq.com

六、征求意见稿全文的网络链接及查阅纸质报告表的方式和途径

具体详见附件；本公示5个工作日内，如需查阅纸质报告表请与建设单位或环评单位联系。

七、征求意见的公众范围和主要事项

征求意见的公众范围主要是项目附近的居民，主要事项包括您对该项目环保方面有何种建议和要求等。

八、公众意见表的网络链接

具体详见附件

九、公众提出意见的方式和途径

公众可以通过下载并填写公众意见表发送至建设单位邮箱，或以电话、信函或者面谈等形式对该项目环保方面提出意见和建议。

十、公众提出意见的起止时间

从公示之日起5个工作日。

南京盛鑫半导体材料有限公司

日期： 2025年 4月1 8日

盛鑫公示.pdf

附件2  环境影响评价公众意见表.docx